| 技術(shù)指標(biāo) | |
| 材料 | 藍(lán)寶石 |
| 面型精度 | λ/20 |
| 平行度 | ≤30秒 |
| 表面質(zhì)量 | 40-20 |
| 尺寸公差 | ±0.1mm |
| 尺寸MAX | Ф600mm |
| 光學(xué)特性 | |
| 密度 | 3.98g/cm3 |
| 熱傳導(dǎo) | 22.2 W/m·k |
| 熱膨脹系數(shù) | 6.7X10-6℃ (和C軸平行) |
| 折射率 | |
| 波長(nm) | n |
| 265 | 1.833 |
| 313 | 1.809 |
| 335 | 1.793 |
| 405 | 1.765 |
| 579 | 1.765 |
| 707 | 1.765 |
| 265 | 1.833 |
| 313 | 1.809 |
| 335 | 1.793 |
| 405 | 1.765 |
| 579 | 1.765 |
| 707 | 1.765 |
| 1014 | 1.755 |
| 1693 | 1.734 |
| 2249 | 1.732 |
| 3303 | 1.702 |
| 4255 | 1.633 |